发明名称 正型感光性组合物、薄膜晶体管及化合物
摘要 本发明提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物,第一本发明的正型感光性组合物包含:(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物,其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构;(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物;(C)硅氢化催化剂;及(D)光产酸剂。
申请公布号 CN104412162A 申请公布日期 2015.03.11
申请号 CN201380035657.5 申请日期 2013.07.02
申请人 株式会社钟化 发明人 井手正仁;稻成浩史;北岛亚纪;田原孔明;真锅贵雄
分类号 G03F7/075(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I 主分类号 G03F7/075(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 张涛
主权项 一种正型感光性组合物,其包含:(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物,其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构;(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物;(C)硅氢化催化剂;及(D)光产酸剂。
地址 日本大阪府