发明名称 |
正型感光性组合物、薄膜晶体管及化合物 |
摘要 |
本发明提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物,第一本发明的正型感光性组合物包含:(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物,其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构;(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物;(C)硅氢化催化剂;及(D)光产酸剂。 |
申请公布号 |
CN104412162A |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201380035657.5 |
申请日期 |
2013.07.02 |
申请人 |
株式会社钟化 |
发明人 |
井手正仁;稻成浩史;北岛亚纪;田原孔明;真锅贵雄 |
分类号 |
G03F7/075(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/075(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张涛 |
主权项 |
一种正型感光性组合物,其包含:(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物,其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构;(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物;(C)硅氢化催化剂;及(D)光产酸剂。 |
地址 |
日本大阪府 |