一种新型的加速度计的Z轴结构

摘要

本发明公开了一种加速度计的Z轴结构，所述质量块通过其两侧对称的弹性扭梁连接在锚定部上，所述锚定部位于质量块的正中心，以锚定部为界，所述质量块其中一侧的质量大于其另一侧的质量。本发明的Z轴结构，锚定部位于质量块的正中心位置，也就是说，形成了一个完全对称的Z轴结构，这就使得Z轴加速度计的两个差分电容完全相等，由此可提高芯片的温度特性及抗外界干扰的能力。通过在质量块一侧开孔的方式，使得质量块的两侧质量不相等，这就使得质量块两侧的力矩不平衡，当有外界Z轴方向的加速度输入时，使得整个质量块产生类似跷跷板的运动，从而使得Z轴加速度计对Z轴方向的加速度信号敏感，提高了测量的精度，节省了芯片面积。

主权项

一种新型的加速度计的Z轴结构，包括质量块(1)、锚定部(2)，其特征在于：所述质量块(1)通过其两侧对称的弹性扭梁(4)连接在锚定部(2)，所述锚定部(2)位于质量块(1)的正中心，以锚定部(2)为界，所述质量块(1)其中一侧的质量大于其另一侧的质量。