发明名称 |
Verfahren zum AEtzen von Metallschichten mit laengs der Schichtdicke unterschiedlicher Zusammensetzung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1546014(A1) |
申请公布日期 |
1970.02.05 |
申请号 |
DE19641546014 |
申请日期 |
1964.12.31 |
申请人 |
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH |
发明人 |
CULLIS,ROGER |
分类号 |
C23F1/00;C23F1/02;H01L21/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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