一种密闭腔体中的样品台

摘要

本发明提供了一种样品台，置于密闭腔体中，包括：运动模块，其第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一方向与第二方向正交，第一导轨与第二导轨之间有间隔；第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体外。该样品台为机械配合设计，保证密闭腔体的真空度。

主权项

一种样品台，置于密闭腔体中，其特征在于，包括：运动模块，所述运动模块包括相对设置的第一表面和第二表面，以及相对设置的第三表面和第四表面，第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一方向与第二方向正交，第一导轨与第二导轨之间有间隔；第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；其中，上述导轨均为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体外，并分别连接位于密闭腔体外的驱动机构。