发明名称 |
一种超导体薄片复合绝缘散热膜的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种超导体薄片复合绝缘散热膜的方法,采用真空气相沉积工艺将薄膜材料涂覆在超导体薄片的表面上。本发明涂膜厚度小,超导体薄片的导热系数高,涂膜工艺自动化程度高,可以减少手工作业,降低产品成本。 |
申请公布号 |
CN104404477A |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201410610409.5 |
申请日期 |
2014.11.03 |
申请人 |
曾芳勤 |
发明人 |
许少华 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种超导体薄片复合绝缘散热膜的方法,其特征在于,采用真空气相沉积工艺将薄膜材料涂覆在超导体薄片的表面上。 |
地址 |
518000 广东省深圳市龙岗区坂田风门路风门坳科技园A栋 |