发明名称 一种超导体薄片复合绝缘散热膜的方法
摘要 本发明公开了一种超导体薄片复合绝缘散热膜的方法,采用真空气相沉积工艺将薄膜材料涂覆在超导体薄片的表面上。本发明涂膜厚度小,超导体薄片的导热系数高,涂膜工艺自动化程度高,可以减少手工作业,降低产品成本。
申请公布号 CN104404477A 申请公布日期 2015.03.11
申请号 CN201410610409.5 申请日期 2014.11.03
申请人 曾芳勤 发明人 许少华
分类号 C23C16/44(2006.01)I 主分类号 C23C16/44(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种超导体薄片复合绝缘散热膜的方法,其特征在于,采用真空气相沉积工艺将薄膜材料涂覆在超导体薄片的表面上。
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