磷化铟单晶炉热偶升降装置

摘要

本发明公开了一种磷化铟单晶炉热偶升降装置，涉及单晶炉技术领域。所述升降装置包括：固定台、位置指针、标尺、热偶管、密封组件、丝杠、升降架、传动组件、动力源和热偶丝。所述升降装置用于液封直拉法磷化铟单晶生长工艺，可监控和测量磷化铟单晶生长时炉腔和熔体内不同位置的温度，进行在线精确测量，得到炉腔和熔体的实际温度，从而改善加热器和保温系统的结构、调节加热器功率，建立良好的热场，使熔体内温度梯度更加合理，生长出残余应力小、位错密度低、电学参数均匀的高质量磷化铟晶体，并能利用测量温度与相关仿真模拟软件的模拟温度进行对比。

主权项

一种磷化铟单晶炉热偶升降装置，其特征在于：所述升降装置包括固定台（1）、位置指针（2）、标尺（3）、热偶管（4）、密封组件（5）、丝杠（6）、升降架（7）、传动组件（8）、动力源（9）和热偶丝（11），所述固定台（1）为中空部件，固定在单晶炉顶盖（10）上，丝杠（6）位于固定台（1）内，丝杠（6）的一端与单晶炉顶盖（10）轴连接，所述传动组件（8）固定在所述丝杠（6）上，所述动力源（9）位于固定台（1）的外侧，动力源（9）的动力输出端与传动组件（8）相啮合，所述升降架（7）通过丝母与丝杠（6）配合，热偶管（4）的一端与升降架（7）固定连接，热偶管（4）的另一端延伸至单晶炉内，热偶管（4）与所述单晶炉顶盖（10）的交汇处设有密封组件（5），所述位置指针（2）固定在所述升降架（7）上，所述标尺（3）固定在所述固定台（1）上，所述标尺（3）与所述位置指针（2）相对设置，所述热偶丝（11）位于所述热偶管（4）内并延伸至单晶炉内。