发明名称 PROCESS OF DOPING SEMICONDUCTOR WITH ANALYZING MAGNET
摘要
申请公布号 US3496029(A) 申请公布日期 1970.02.17
申请号 USD3496029 申请日期 1966.10.12
申请人 ION PHYSICS CORP. 发明人 WILLIAM J. KING;STANLEY J. SOLOMON
分类号 H01J29/84;H01J37/317;H01L21/00;H01L31/00;(IPC1-7):H01L7/54;H01L15/02 主分类号 H01J29/84
代理机构 代理人
主权项
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