| 主权项 |
一种变通性的气体输送装置，包括：一气体控制盘，具有一第一气体杆及一最终气体杆，每一气体杆上具有复数之气体输送元件；复数之歧管块，彼此连接以形成一基板，该复数之歧管块中之每一者耦合到该复数之气体输送元件其中一者；一底板，具有一上表面及一下表面，该底板的该上表面耦合到该基板的一底表面；一混合歧管，配置于该底板的该上表面，以连接平行配置于该基板上的复数之混合阀；及一泵送/冲洗歧管，配置于该底板的该上表面上，以连接平行配置于该基板上的复数之泵送/冲洗阀；其中该第一气体杆更包括：一第一延伸块，具有一第一区段及一第二区段，该第一区段系配置于一冲洗阀和该基板之间，具有一流体连通到该泵送/冲洗歧管的排放开口，一第二延伸块，具有一第一区段及一第二区段，该第一区段系配置于一混合阀和该基板之间，具有一流体连通到该混合歧管的出口开口；及其中该第一及第二延伸块的该第二区段系从该气体控制盘往外延伸。
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