发明名称 |
一种碳纳米管异质结构制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种碳纳米管异质结构制备方法,包括如下步骤:将Si样片为阳极,铂为阴极,在去离子水、无水乙醇和氢氟酸混合的电解液中电解,使得Si表面形成锥形孔;通过高温液相法合成Fe<sub>3</sub>O<sub>4</sub>纳米粒子催化剂;将乙酰丙酮铁溶入油酸油脂和二醇中,在苯醚环境中高温热解;将制备的Fe<sub>3</sub>O<sub>4</sub>纳米粒子溶液滴在多孔硅表面上,放在空气中自然干燥;将制备好的多孔硅样品置于真空室中,抽本底真空并通入H<sub>2</sub>,开启微波源进行预处理,基底靠加热系统和等离子体轰击共同升温至预定温度;预处理后,通入CH<sub>4</sub>和B<sub>2</sub>H<sub>6</sub>气体,进行掺硼碳纳米管的制备;停止通入B<sub>2</sub>H<sub>6</sub>,将CH<sub>4</sub>流量增大,进行纯碳纳米管的制备。本发明方法简单、成本低廉,获得的异质结构性能稳定、光学、电学性能更强。 |
申请公布号 |
CN104409326A |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201410658366.8 |
申请日期 |
2014.11.15 |
申请人 |
大足县众科管道设备有限公司 |
发明人 |
吴礼才 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种碳纳米管异质结构制备方法,其特征在于,包括如下步骤:将Si样片为阳极,铂为阴极,在去离子水、无水乙醇和氢氟酸混合的电解液中电解,使得Si表面形成锥形孔;通过高温液相法合成Fe<sub>3</sub>O<sub>4</sub>纳米粒子催化剂;将乙酰丙酮铁溶入油酸油脂和二醇中,在苯醚环境中高温热解;将制备的Fe<sub>3</sub>O<sub>4</sub>纳米粒子溶液滴在多孔硅表面上,放在空气中自然干燥;将制备好的多孔硅样品置于真空室中,抽本底真空并通入H<sub>2</sub>,开启微波源进行预处理,基底靠加热系统和等离子体轰击共同升温至预定温度;预处理后,通入CH<sub>4</sub>和B<sub>2</sub>H<sub>6</sub>气体,进行掺硼碳纳米管的制备;停止通入B<sub>2</sub>H<sub>6</sub>,将CH<sub>4</sub>流量增大,进行纯碳纳米管的制备;反应结束后,在多孔Si表面形成了一层黑色的薄膜,即得到碳纳米管异质结构。 |
地址 |
402368 重庆市大足县龙水镇盐井坡龙湖景园A区 |