真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统

摘要

本发明公开了真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵,所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。本发明能实现自动控制快速冷却的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本低廉的显著有益效果。

主权项

真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵,其特征在于：所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。