高功率脉冲涂装方法

摘要

本发明涉及用于借助于等离子体反应测定在涂装过程的气体消耗的方法，其具有下列步骤:a）将反应气体吸入涂装室中其中测量相应反应气体流量并且同时测量在涂装室中占多数的部分压力，而不点燃等离子体b）将反应气体吸入涂装室中其中测量相应反应气体流量并且同时测量在涂装室中占多数的部分压力，其中点燃等离子体，其特征在于，-步骤a)和b)在多个不同的反应气体流量的情况下执行并且如此反应气体流量-部分压力相关性不但能在有等离子体而且能在没有等离子体的情况下测定-在给定部分压力的情况下在没有等离子体的情况下测定的反应气体流量值从在有等离子体的情况下测定的反应气体流量值减去并且使差与反应气体消耗等同。

主权项

一种用于借助于等离子体测定涂装过程中的反应气体消耗的方法，其具有下列步骤:a）将反应气体吸入涂装室中其中测量相应反应气体流量并且同时测量在涂装室中占多数的部分压力，而不点燃等离子体b）将反应气体吸入涂装室中其中测量相应反应气体流量并且同时测量在涂装室中占多数的部分压力，其中点燃等离子体，其特征在于，‑步骤a)和b)在多个不同的反应气体流量的情况下执行并且如此反应气体流量‑部分压力相关性不但能在有等离子体的情况下而且能在没有等离子体的情况下测定‑在给定部分压力的情况下将在没有等离子体的情况下测定的反应气体流量值从在有等离子体的情况下测定的反应气体流量值减去并且使差与反应气体消耗等同。