主权项 |
一种感放射线性树脂组成物,其系含有:(A)具有下述一般式(1)表示之重复单位之树脂、(D)酸产生剂、(E)下述一般式(8)所表示之光崩坏性硷;且(E)光崩坏性硷之配合量系相对于(A)树脂100质量份为2~15质量份;
前述一般式(1)中,R1表示氢或甲基,复数之R2相互独立表示碳数4~20之1价脂环式烃基或其衍生物,或碳数1~4之直链状或分支状之烷基;又,(i)R2之至少一个为碳数4~20之1价脂环式烃基或其衍生物,或(ii)任意2个R2相互键结而形成包含各自所键结之碳原子之碳数4~20之2价脂环式烃基或其衍生物,且剩余之R2为碳数1~4之直链状或分支状之烷基或碳数4~20之1价脂环式烃基或其衍生物;前述一般式(8)中,R18~R20相互独立表示氢原子、烷基、烷氧基、羟基或卤素原子;又,Z-表示OH-、R-COO-、R-SO3-(但,R表示烷基、芳基、或烷芳基)或下述式(10)所表示之阴离子; |