发明名称 感放射线性树脂组成物
摘要
申请公布号 TWI476518 申请公布日期 2015.03.11
申请号 TW101134451 申请日期 2008.05.23
申请人 JSR股份有限公司 发明人 中村敦;下川努;高桥纯一;安陪毅由;永井智树;柿泽友洋
分类号 G03F7/004;C08F220/18;C07C381/12 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种感放射线性树脂组成物,其系含有:(A)具有下述一般式(1)表示之重复单位之树脂、(D)酸产生剂、(E)下述一般式(8)所表示之光崩坏性硷;且(E)光崩坏性硷之配合量系相对于(A)树脂100质量份为2~15质量份; 前述一般式(1)中,R1表示氢或甲基,复数之R2相互独立表示碳数4~20之1价脂环式烃基或其衍生物,或碳数1~4之直链状或分支状之烷基;又,(i)R2之至少一个为碳数4~20之1价脂环式烃基或其衍生物,或(ii)任意2个R2相互键结而形成包含各自所键结之碳原子之碳数4~20之2价脂环式烃基或其衍生物,且剩余之R2为碳数1~4之直链状或分支状之烷基或碳数4~20之1价脂环式烃基或其衍生物;前述一般式(8)中,R18~R20相互独立表示氢原子、烷基、烷氧基、羟基或卤素原子;又,Z-表示OH-、R-COO-、R-SO3-(但,R表示烷基、芳基、或烷芳基)或下述式(10)所表示之阴离子;
地址 日本