扩散机台

主权项

一种扩散机台，包含：一炉管，包括一开口与一第一表面，该第一表面位于该开口的外周围；一炉门，具有一第二表面，该第二表面与该第一表面彼此对应；一第一护盖单元，设于该第一表面上；及一第二护盖单元，设于该第二表面上，该第一护盖单元与该第二护盖单元彼此可相互接触。