Vibration insulation system with support which is divided into sections, and method of controlling same

摘要

Die Erfindung betrifft ein Schwingungsisolationssystem, welches eine in mehrere rigide Teilbereiche unterteilte Auflage umfasst, auf der ein verfahrbarer Tisch angeordnet ist. Die Teilbereiche sind auf pneumatischen Lagern angeordnet, wobei die pneumatischen Lager der einzelnen Teilbereiche unabhängig voneinander und in Abhängigkeit der Positionen des verfahrbaren Tisches angesteuert werden.