发明名称 一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法
摘要 本发明属于一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法,包括以下步骤,硒化:在500-550℃下,采用固态硒源((硒粉或硒块))对铜锌锡硫薄膜进行硒化,硒化时间为20-40min,然后冷却至室温;硫化:将硒化后的铜锌锡硫薄膜在500-550℃下、固态硫源(硫粉或硫块)下硫化,硫化时间为20-40min,然后冷却至室温;二次硒化:在500-550℃下,采用固态硒源对硫化后的铜锌锡硫薄膜进行二次硒化,硒化时间为10-20min,然后冷却至室温;二次硫化:将二次硒化后的铜锌锡硫薄膜在500-550℃下、固态硫源下二次硫化,硫化时间为5-13min,然后冷却至室温。
申请公布号 CN104409568A 申请公布日期 2015.03.11
申请号 CN201410638475.3 申请日期 2014.11.13
申请人 郑州大学 发明人 陈永生;符凯亮;张利伟
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 代理人 王聚才;周闯
主权项 一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法,其特征在于,包括以下步骤,硒化:在500‑550℃下,采用固态硒源对铜锌锡硫薄膜进行硒化,硒化时间为20‑40min,然后冷却至室温;硫化:将硒化后的铜锌锡硫薄膜在500‑550℃下、固态硫源下硫化,硫化时间为20‑40min,然后冷却至室温;二次硒化:在500‑550℃下,采用固态硒源对硫化后的铜锌锡硫薄膜进行二次硒化,硒化时间为10‑20min,然后冷却至室温;二次硫化:将二次硒化后的铜锌锡硫薄膜在500‑550℃下、固态硫源下二次硫化,硫化时间为5‑13min,然后冷却至室温。
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