发明名称 |
一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法 |
摘要 |
本发明属于一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法,包括以下步骤,硒化:在500-550℃下,采用固态硒源((硒粉或硒块))对铜锌锡硫薄膜进行硒化,硒化时间为20-40min,然后冷却至室温;硫化:将硒化后的铜锌锡硫薄膜在500-550℃下、固态硫源(硫粉或硫块)下硫化,硫化时间为20-40min,然后冷却至室温;二次硒化:在500-550℃下,采用固态硒源对硫化后的铜锌锡硫薄膜进行二次硒化,硒化时间为10-20min,然后冷却至室温;二次硫化:将二次硒化后的铜锌锡硫薄膜在500-550℃下、固态硫源下二次硫化,硫化时间为5-13min,然后冷却至室温。 |
申请公布号 |
CN104409568A |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201410638475.3 |
申请日期 |
2014.11.13 |
申请人 |
郑州大学 |
发明人 |
陈永生;符凯亮;张利伟 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 |
代理人 |
王聚才;周闯 |
主权项 |
一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法,其特征在于,包括以下步骤,硒化:在500‑550℃下,采用固态硒源对铜锌锡硫薄膜进行硒化,硒化时间为20‑40min,然后冷却至室温;硫化:将硒化后的铜锌锡硫薄膜在500‑550℃下、固态硫源下硫化,硫化时间为20‑40min,然后冷却至室温;二次硒化:在500‑550℃下,采用固态硒源对硫化后的铜锌锡硫薄膜进行二次硒化,硒化时间为10‑20min,然后冷却至室温;二次硫化:将二次硒化后的铜锌锡硫薄膜在500‑550℃下、固态硫源下二次硫化,硫化时间为5‑13min,然后冷却至室温。 |
地址 |
450001 河南省郑州市高新区科学大道100号 |