发明名称 光取向曝光方法及光取向曝光装置
摘要 本发明提供一种光取向曝光方法及光取向曝光装置。将取向曝光方式适用于多域法时,消除单位图像区域的分割区域的边界附近的取向混乱。一种光取向曝光方法,其将液晶显示元件的各单位图像区域(Pa)分割为多个分割区域(Da1、Da2),并分别向不同方向对各分割区域(Da1、Da2)的取向材料膜进行光取向,所述光取向曝光方法具有:第1曝光工序,相对于整个单位图像区域(Pa)的被曝光面以倾斜的光照射角度(θ1)照射光;及第2曝光工序,相对于分割区域(Da1、Da2)中的一个区域即第2分割区域(Da2),用以与第1曝光工序中的光照射角度(θ1)不同的角度倾斜的光照射角度(θ2)照射光。第2曝光工序经由与分割区域(Da1、Da2)中的一个区域即第2分割区域(Da2)对应的掩模图案照射光,通过聚光机构(13)对掩模图案的透射光进行聚光并照射于所曝光的第2分割区域(Da2)。
申请公布号 CN104412152A 申请公布日期 2015.03.11
申请号 CN201380034672.8 申请日期 2013.03.29
申请人 株式会社V技术 发明人 梶山康一;桥本和重;新井敏成
分类号 G02F1/1337(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I 主分类号 G02F1/1337(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 吕琳;杨生平
主权项 一种光取向曝光方法,其将液晶显示元件的各单位图像区域分割为多个分割区域,并分别向不同方向对各分割区域的取向材料膜进行光取向,其特征在于,所述光取向曝光方法具有:第1曝光工序,相对于整个所述单位图像区域的被曝光面以倾斜的光照射角度照射光;及第2曝光工序,相对于所述分割区域中的一个区域,用以与所述第1曝光工序中的光照射角度不同的角度倾斜的光照射角度照射光,所述第2曝光工序经由与所述分割区域中的一个区域对应的掩模图案照射光,通过聚光机构对所述掩模图案的透射光进行聚光并照射于所述区域。
地址 日本神奈川县横滨市