工件的侧边加工装置

摘要

本发明提供一种提高矩形硬质脆性基板的侧边加工精度、并且加工稳定性较好的侧边加工装置。本发明的工件的侧边加工装置包括：中心工作台，支撑工件的中心部并进行旋转控制；一对侧边工作台，在上述中心工作台的两侧支撑上述工件的中心部以外的部分；以及工具，对通过上述中心工作台和上述一对侧边工作台支撑的工件的相对两侧边进行加工；上述工具能够在与上述侧边工作台的侧边平行的方向上进行相对移动，上述一对侧边工作台具有与上述中心工作台的旋转动作同步、并且以夹着上述中心工作台的状态进行接近分离控制的扩缩装置。

主权项

一种工件的侧边加工装置，其特征在于包括：中心工作台，支撑工件的中心部并进行旋转控制；一对侧边工作台，在所述中心工作台的两侧支撑所述工件的中心部以外的部分；以及工具，对通过所述中心工作台和所述一对侧边工作台支撑的工件的相对两侧边进行加工；所述工具能够在与所述侧边工作台的侧边平行的方向上进行相对移动，所述一对侧边工作台具有与所述中心工作台的旋转动作同步、并且以夹着所述中心工作台的状态进行接近分离控制的扩缩装置，并且，该一对侧边工作台为在所述工件的侧边加工时支撑工件的平台，所述中心工作台和所述一对侧边工作台具有用于吸附以及浮上的吸引喷出孔，在所述中心工作台进行旋转动作时，在不改变作为平台的侧边工作台的上面高度而使其与中心工作台的上面高度保持一致的状态下，设置在所述中心工作台上的吸引喷出孔进行吸附控制，设置在所述一对侧边工作台上的吸引喷出孔对空气进行喷出控制。