发明名称 树脂模仁、成形体及成形体之制造方法
摘要
申请公布号 TWI476093 申请公布日期 2015.03.11
申请号 TW100103616 申请日期 2011.01.31
申请人 丸善石油化学股份有限公司 发明人 林田能久;佐塚拓郎;高谷佳辉;竹森利郁
分类号 B29C59/02;C08J7/12;H01L21/30 主分类号 B29C59/02
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种树脂模仁,由含有树脂成分(a)之材料所构成,表面上形成图案形成用的微细形状,将该微细形状转写于由含有树脂成分(b)之材料所构成的转写对象所用之奈米印压用的树脂模仁,该树脂模仁为,将上述树脂成分(a)涂布于具有平滑面的基材之该平滑面上,使乾燥或照射光,形成具有平滑面的树脂层(A)后,形成的该树脂层(A)的上述平滑面上配置3μL的水,根据JIS R 3257测定的静接触角(X1)满足下列条件(1)者:条件(1):构成上述转写对象之材料中的上述树脂成分(b),涂布于具有平滑面的基材之该平滑面上,使乾燥或照射光,形成具有光滑面的树脂层(B)后,该形成的树脂层(B)的该平滑面上配置3μL的水,根据JIS R 3257测定的静接触角(Y1)与上述静接触角(X1)的差的绝对值为20°~60°。
地址 日本