发明名称 具有移动适配部分之用以耦接O形环的狭缝化TSSL阀门
摘要
申请公布号 TWI476338 申请公布日期 2015.03.11
申请号 TW098129078 申请日期 2009.08.28
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 德杰特米汉贝;栗田真一;怀特约翰M;安瓦苏华;稻川真
分类号 F16K3/02;F16J15/16 主分类号 F16K3/02
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种狭缝阀门,包含:一第一主体;一第二主体,其耦接至该第一主体于该第一主体的一边缘处,且与该第一主体分隔,使得在该第一主体与该第二主体之间存在一第一狭缝;一第一轴承板,其耦接于该第一主体与该第二主体之间;一第一伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第二主体之间,且在该第一狭缝上方;一第一夹钳,其耦接至该第一伸缩囊、该第一主体与该第二主体;一第三主体,其耦接至该第一主体于该第一主体的一边缘处,且与该第一主体分隔,使得在该第一主体与该第三主体之间存在一第二狭缝;一第二轴承板,其耦接于该第一主体与该第三主体之间;一第二伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第三主体之间,且在该第二狭缝上方;以及一第二夹钳,其耦接至该第二伸缩囊、该第一主体与该第三主体。
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