发明名称 |
具有移动适配部分之用以耦接O形环的狭缝化TSSL阀门 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI476338 |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
TW098129078 |
申请日期 |
2009.08.28 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
德杰特米汉贝;栗田真一;怀特约翰M;安瓦苏华;稻川真 |
分类号 |
F16K3/02;F16J15/16 |
主分类号 |
F16K3/02 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
一种狭缝阀门,包含:一第一主体;一第二主体,其耦接至该第一主体于该第一主体的一边缘处,且与该第一主体分隔,使得在该第一主体与该第二主体之间存在一第一狭缝;一第一轴承板,其耦接于该第一主体与该第二主体之间;一第一伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第二主体之间,且在该第一狭缝上方;一第一夹钳,其耦接至该第一伸缩囊、该第一主体与该第二主体;一第三主体,其耦接至该第一主体于该第一主体的一边缘处,且与该第一主体分隔,使得在该第一主体与该第三主体之间存在一第二狭缝;一第二轴承板,其耦接于该第一主体与该第三主体之间;一第二伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第三主体之间,且在该第二狭缝上方;以及一第二夹钳,其耦接至该第二伸缩囊、该第一主体与该第三主体。
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地址 |
美国 |