主权项 |
一种使用椭偏仪测量光学薄膜偏振保真度的方法,其特征在于:该方法具体步骤如下:步骤1:定义薄膜的偏振保真度:偏振方位角为45°线偏振光经系统或薄膜元件后出射光为椭圆偏振光,椭圆偏振光长、短轴之比<img file="FDA0000617034750000011.GIF" wi="78" he="139" />描述系统或薄膜元件的偏振保真度;利用偏振光特点,偏振方位角为ψ的线偏振光,经光学薄膜样品反射或透射后变成椭圆偏振光,两偏振光的振幅比<img file="FDA0000617034750000012.GIF" wi="103" he="151" />及相位差δ决定了这个椭圆偏振光的长轴a,短轴b之比<img file="FDA0000617034750000013.GIF" wi="78" he="124" />及其在空间的取向ψ,椭圆的长短轴之比可确定椭圆的外形,椭圆的方位角ψ确定椭圆的空间取向;而<img file="FDA0000617034750000014.GIF" wi="76" he="122" />和δ可实际测量;推导出<img file="FDA0000617034750000015.GIF" wi="134" he="154" />δ和<img file="FDA0000617034750000016.GIF" wi="110" he="129" />ψ之间的关系为:<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><mo>±</mo><mfrac><mi>a</mi><mi>b</mi></mfrac><mo>=</mo><mi>tan</mi><mi>x</mi><mrow><mo>(</mo><mo>-</mo><mfrac><mi>π</mi><mn>4</mn></mfrac><mo>≤</mo><mi>x</mi><mo>≤</mo><mfrac><mi>π</mi><mn>4</mn></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mo>-</mo><mo>-</mo><mrow><mo>(</mo><mn>1</mn><mo>)</mo></mrow></mrow>]]></math><img file="FDA0000617034750000017.GIF" wi="1391" he="119" /></maths>tan2φcosδ=tan2ψ (2)sin2φsinδ=sin2x (3)<maths num="0002" id="cmaths0002"><math><![CDATA[<mrow><mfrac><msub><mi>E</mi><mi>P</mi></msub><msub><mi>E</mi><mi>S</mi></msub></mfrac><mi>tan</mi><mi>φ</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0</mn><mo>≤</mo><mi>φ</mi><mo>≤</mo><mfrac><mi>π</mi><mn>2</mn></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mo>-</mo><mo>-</mo><mrow><mo>(</mo><mn>4</mn><mo>)</mo></mrow></mrow>]]></math><img file="FDA0000617034750000018.GIF" wi="1386" he="145" /></maths>E<sub>P</sub><sup>2</sup>+E<sub>S</sub><sup>2</sup>=a<sup>2</sup>+b<sup>2</sup> (5)由以上关系式,已知<img file="FDA0000617034750000019.GIF" wi="77" he="129" />和ψ实际测量值,即可得到<img file="FDA00006170347500000110.GIF" wi="132" he="154" />δ;假设薄膜样品的反射P、S偏振分离度<img file="FDA00006170347500000111.GIF" wi="176" he="147" />由公式(4),(3),(1),推导<img file="FDA00006170347500000112.GIF" wi="311" he="139" />其中,δ为薄膜元件P、S偏振光相位延迟;步骤2:测量经过单个光学元件反射后的相位延迟δ;步骤3:根据椭偏仪测量的相位延迟δ带入公式<img file="FDA00006170347500000113.GIF" wi="310" he="139" />即可得到光学薄膜样品的偏振保真度。 |