| 发明名称 | 一种超高分辨率蒸镀用精细金属掩膜板及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种超高分辨率蒸镀用精细金属掩膜板及其制作方法。所述的精细金属掩膜板包括上、下两磁性膜层及石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层，所述的上、下两磁性膜层与石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层间依次层叠形成三明治结构；或者，上、下两磁性膜层对石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层形成包封结构。本发明通过采用上、下两磁性膜层与石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层形成掩膜板，可实现制作更精细的通孔，可大幅度提高单位面积上的通孔密度，以致可显著提高掩膜板蒸镀分辨率，可使制作的OLED显示屏的分辨率超过400PPI，具有显著的工业化应用价值。 | ||
| 申请公布号 | CN104404446A | 申请公布日期 | 2015.03.11 |
| 申请号 | CN201410657790.0 | 申请日期 | 2014.11.18 |
| 申请人 | 上海工程技术大学 | 发明人 | 张霞;于治水;姚宝殿 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人 | 何葆芳 |
| 主权项 | 一种超高分辨率蒸镀用精细金属掩膜板，其特征在于：包括上、下两磁性膜层及石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层，所述的上、下两磁性膜层与石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层间依次层叠形成三明治结构；或者，上、下两磁性膜层对石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层形成包封结构。 | ||
| 地址 | 201620 上海市松江区龙腾路333号 | ||