一种多模式激光诱导击穿光谱装置

摘要

本发明公开了一种多模式激光诱导击穿光谱装置，具有共线、再加热、预烧蚀三种工作模式；共线工作模式中：双脉冲固体激光器的光路上设有光路爬高系统，用于升高1064nm/532nm同轴输出激光的光路，使得激光由样品台正上方聚焦到样品表面，产生等离子体；再加热和预烧蚀工作模式中：双脉冲固体激光器的第一激光进入光路爬高系统，用于升高第一激光的光路，使得第一激光由样品台正上方聚焦到样品表面，产生等离子体；延时发生器控制第一激光和第二激光的触发时序；双脉冲固体激光器的第二激光直接聚焦至等离子体；还包括信号采集和处理系统，根据等离子体冷却发出的特征谱线和第一激光击打样品的空间信息，显示元素在样品表面的分布信息。

主权项

一种多模式激光诱导击穿光谱装置，其特征在于，包括双脉冲固体激光器、样品台和用于控制双脉冲固体激光器触发时序的延时发生器；双脉冲固体激光器具有1064nm同轴输出、532nm同轴输出、1064nm异轴输出和1064nm、532nm异轴输出四种输出方式；所述的多模式激光诱导击穿光谱装置具有共线、再加热、预烧蚀三种工作模式；所述的共线工作模式中：所述双脉冲固体激光器的光路上设有光路爬高系统，该光路爬高系统用于升高1064nm/532nm同轴输出激光的光路，使得激光由样品台正上方聚焦到样品表面，产生等离子体；所述的再加热和预烧蚀工作模式中：所述双脉冲固体激光器的第一激光进入所述的光路爬高系统，该光路爬高系统用于升高第一激光的光路，使得第一激光由样品台正上方聚焦到样品表面，产生等离子体；所述的延时发生器控制第一激光和第二激光的触发时序；所述双脉冲固体激光器的第二激光直接聚焦至等离子体；还包括信号采集和处理系统，根据等离子体冷却发出的特征谱线和第一激光击打样品的空间信息，显示元素在样品表面的分布信息。