晶圆状物件之表面处理用装置

主权项

一种晶圆状物件之液体处理用装置，包括一封闭的制程腔室，一环状夹头，位于该封闭的制程腔室中，该环状夹头系用以在无实体接触下藉由一磁浮轴承加以驱动，一磁性定子，围绕该封闭的制程腔室，该封闭的制程腔室包括一圆柱壁，在一晶圆状物件之液体处理时配置在该环状夹头及该磁性定子之间，及该环状夹头具有一形式，用于防止制程液体向上进入在该环状夹头及该圆柱壁之间所界定之一间隙，其中该环状夹头包括朝下吊挂之一扰流板，该扰流板延伸自该环状夹头之一朝下及朝内表面。