摘要 |
L'invention a pour objet un procédé de fabrication d'un matériau comprenant un substrat de verre ou de vitrocéramique muni sur au moins une de ses faces d'un empilement de couches minces comprenant une couche fonctionnelle à base d'oxyde d'étain et d'indium, dans lequel on dépose successivement par pulvérisation cathodique magnétron, sur ladite au moins une face dudit substrat, ladite couche fonctionnelle, puis, sous une pression d'au plus 2,5 µbar, une couche barrière à l'oxygène. |