发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT D'UNE COUCHE DE NITRURE DE GALLIUM COMPORTANT DES DISLOCATIONS
摘要 L'invention concerne un procédé de traitement d'un substrat (101) de nitrure de gallium dopé d'un premier type de conductivité, présentant des dislocations (105) débouchant du côté d'au moins une de ses faces, comprenant : a) former des évidements (107) s'étendant dans le substrat (101) depuis ladite au moins une face, en regard des dislocations (105) ; et b) remplir les évidements (107) de nitrure de gallium dopé du second type de conductivité.
申请公布号 FR3010228(A1) 申请公布日期 2015.03.06
申请号 FR20130058324 申请日期 2013.08.30
申请人 STMICROELECTRONICS (TOURS) SAS 发明人 YVON ARNAUD
分类号 H01L21/71;H01L23/12;H01L29/872 主分类号 H01L21/71
代理机构 代理人
主权项
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