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发明名称 MICROMIRROR ARRAY
摘要 The invention concerns a micromirror array (27) having the form of a sheared-off rectangle. When arranged in an illumination optics system (4), one side is aligned perpendicular to a scanning direction.
申请公布号 WO2015028451(A1) 申请公布日期 2015.03.05
申请号 WO2014EP68041 申请日期 2014.08.26
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 ENDRES, MARTIN
分类号 G03F7/20;G02B26/08 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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