電気機械システムデバイスのカプセル化されたアレイ

摘要

本開示は、電気機械システムデバイスをカプセル化するためのシステム、方法および装置を提供する。一態様では、電気機械システムデバイスの大きなアレイがカプセル化され得る。一態様では、カプセル化は、カプセル化層支持体によって電気機械システムデバイスの上に支持されたカプセル化層を含む。カプセル化層は複数のオリフィスを含むこともできる。オリフィスは、下の電気機械システムデバイスが損傷を受けないように封止され得る。