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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US3515583(A) 申请公布日期 1970.06.02
申请号 USD3515583 申请日期 1967.03.20
申请人 MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK. 发明人 MORIO INOUE;GOTA KANO;JINICHI MATSUNO;SHIGETOSHI TAKAYANAGI
分类号 C23C16/12;H01L21/00;H01L29/00 主分类号 C23C16/12
代理机构 代理人
主权项
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