MEMS-Vorrichtung

摘要

Eine MEMS-Vorrichtung weist einen ersten Chip und einen MEMS-Chip auf. Der erste Chip besitzt eine Montageoberfläche und weist mindestens eine integrierte Schaltung auf. Der MEMS-Chip besitzt eine Hauptoberfläche, auf der ein erster Satz von Kontaktsegmenten zum Kontaktieren der MEMS-Vorrichtung und ein zweiter Satz von Kontaktsegmenten zum Kontaktieren des ersten Chips angeordnet sind. Der erste Chip ist an bzw. mit dem zweiten Satz von Kontaktsegmenten über die Montageoberfläche gegenüber der Hauptoberfläche mechanisch befestigt und elektrisch verbunden. Die Montageoberfläche des ersten Chips ist mindestens 25% kleiner als die Hauptoberfläche des MEMS-Chips.