发明名称 Halbleiterbauelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement basierend auf Elementen der Gruppe-III-Nitride auf einem Hetero- oder Homosubstrat oder einer Gruppe-III-Nitrid-Pufferschicht, gekennzeichnet durch eine mindestens einmal wechselnde Polarität der Gruppe-III-Nitrid-Schicht im Bauelement oder von benachbarten Bauelementen durch eine lokale Beschichtung des Substrats oder der Gruppe-III-Nitrid-Pufferschicht mit einem bei Herstellungstemperatur nicht schmelzenden Metall.</p>
申请公布号 DE102013109698(A1) 申请公布日期 2015.03.05
申请号 DE201310109698 申请日期 2013.09.05
申请人 FIRMA OTTO-VON-GUERICKE-UNIVERSITÄT MAGDEBURG 发明人 DADGAR, ARMIN;NEUGEBAUER, SILVIO;WIENEKE, MATTHIAS;KROST, ALOIS
分类号 H01L29/04;H01L27/092 主分类号 H01L29/04
代理机构 代理人
主权项
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