| 摘要 |
この部品の製造方法は、一方の面がニッケルからなる基板を用い、前記一方の面上に、錫を主成分とする合金膜をスパッタ法により形成する工程Ａ１と、前記合金膜上に、少なくとも前記合金膜との接触部位が、銅、及び、ニッケル被覆されたアルミニウムの何れか一方からなる部品を載置する工程Ａ３と、前記基板と前記合金膜との間、及び、前記合金膜と前記部品との間を各々接合するために、熱処理を施す工程Ａ４と、を少なくとも順に備える、部品の製造方法であって、前記工程Ａ１において、減圧雰囲気とした空間内に、錫を主成分とする合金ターゲットを設けたカソード電極と、前記基板を設けたアノード電極とを対向して配置し、前記基板の前記一方の面上に、前記合金膜を形成する際に、前記カソード電極にＤＣ電圧を印加する。 |
