发明名称 |
Verfahren zum Herstellen eines Kondensators |
摘要 |
<p>Verfahren zum Herstellen eines Kondensators (360), wobei das Verfahren folgendes aufweist: Ausbilden einer ersten Platte (310a) und einer zweiten Platte (310b) über einem Werkstück; und Ausbilden eines Kondensatordielektrikums (324a, 324b, 324c) zwischen der ersten Platte (310a) und der zweiten Platte (310b), wobei das Ausbilden der ersten Platte (310a) und der zweiten Platte (310b) jeweils folgendes aufweisen: Bilden mehrerer erster in horizontaler Richtung verlaufender paralleler leitender Elemente (312); Ausbilden mehrerer zweiter in horizontaler Richtung verlaufender paralleler leitender Elemente (314) über den mehreren ersten parallelen leitenden Elementen (312); Koppeln eines ersten Basiselements (316) an ein Ende mindestens einiger der mehreren ersten parallelen leitenden Elemente (312); Koppeln eines zweiten Basiselements (318) an ein Ende von mindestens einigen der mehreren zweiten parallelen leitenden Elemente (314); und Ausbilden mindestens eines verbindenden Elements (320) zwischen den mehreren ersten parallelen leitenden Elementen (312) und den mehreren zweiten parallelen leitenden Elementen (314), wobei das Ausbilden des mindestens einen verbindenden Elements (320) das Ausbilden mindestens eines in horizontaler Richtung länglichen Vias (322) aufweist und wobei das Ausbilden der ersten Platte (310a) und der zweiten Platte (310b) das Verschachteln der mehreren ersten parallelen leitenden Elemente (312) der ersten Platte (310a) mit den mehreren ersten parallelen leitenden Elementen (312) der zweiten Platte (310b) und das Verschachteln der mehreren zweiten parallelen leitenden Elemente (314) der ersten Platte (310a) mit den mehreren zweiten parallelen leitenden Elementen (314) der zweiten Platte (310b) aufweist, wobei die mehreren ersten parallelen leitenden Elemente (312) und die ersten Basiselemente (316) in einem ersten Isoliermaterial (324a) ausgebildet werden, wobei das Ausbilden der verbindenden Elemente (320) und der zweiten parallelen leitenden Elemente (314) das Ausbilden eines zweiten Isoliermaterials (324b, 324c) mit einem unteren Abschnitt und einem oberen Abschnitt über dem ersten Isoliermaterial ...</p> |
申请公布号 |
DE102008054320(B4) |
申请公布日期 |
2015.03.05 |
申请号 |
DE20081054320 |
申请日期 |
2008.11.03 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BARTH, HANS-JOACHIM, DR.;BAUMGARTNER, PETER;BENETIK, THOMAS;KALTALIOGLU, ERDEM;RIESS, PHILIPP;RUDERER, ERWIN;TEWS, HELMUT;GLASOW, ALEXANDER VON |
分类号 |
H01L21/822;H01L27/08 |
主分类号 |
H01L21/822 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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