| 摘要 |
非鉛の材料からなる強誘電体膜の製造方法を提供することを課題とする。本発明の一態様による強誘電体膜は、型３に、（Ｋ１−ＸＮａＸ）ＮｂＯ３を形成するためのゾルゲル溶液を流し込み、前記ゾルゲル溶液を仮焼成することにより、前記型３内に（Ｋ１−ＸＮａＸ）ＮｂＯ３材料膜を形成し、前記（Ｋ１−ＸＮａＸ）ＮｂＯ３材料膜を酸素雰囲気で熱処理して結晶化することにより、前記型３内に（Ｋ１−ＸＮａＸ）ＮｂＯ３結晶化膜を形成し、前記型３をエッチングにより除去する強誘電体膜の製造方法であって、前記型３は前記（Ｋ１−ＸＮａＸ）ＮｂＯ３結晶化膜よりエッチングされやすく、前記Ｘが下記式を満たすことを特徴とする。０．３≦̸Ｘ≦̸０．７ |
