发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Untersuchen einer Probe
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Untersuchen einer Probe, wobei die Probe mit Beleuchtungslicht beaufschlagt wird und von der Probe ausgehendes Detektionslicht zu einem Detektor gelenkt wird und wobei das Beleuchtungslicht durch ein akustooptisches Bauteil gelenkt wird, mit dem das Beaufschlagen der Probe mit Beleuchtungslicht zeitweise unterbrochen werden kann. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die Probe mit einem ersten Beleuchtungslichtbündel, das eine erste Linearpolarisationsrichtung aufweist, und mit einem zweiten Bleuchtungslichtbündel, dessen Linearpolarisationsrichtung fortlaufend zwischen der ersten Linearpolarisationsrichtung und einer zweiten, von der ersten Linearpolarisationsrichtung verschiedenen, Linearpolarisationsrichtung umgeschaltet wird, beleuchtet wird, wobei das Beleuchtungslicht der ersten Linearpolarisationslichtung entlang einem ersten Lichtweg verläuft und Beleuchtungslicht der zweiten Linearpolarisationslichtung entlang einem zweiten Lichtweg verläuft, und wobei das akustooptische Bauteil die Lichtwege vereinigt.
申请公布号 DE102013227108(A1) 申请公布日期 2015.03.05
申请号 DE201310227108 申请日期 2013.12.23
申请人 LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH 发明人 KRISHNAMACHARI, VISHNU VARDHAN
分类号 G02B21/06;G02B21/00 主分类号 G02B21/06
代理机构 代理人
主权项
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