发明名称 薄膜晶体管及其制作方法,薄膜晶体管组件、阵列基板及显示装置
摘要 薄膜晶体管及其制作方法,薄膜晶体管组件、阵列基板及显示装置,一种薄膜晶体管,包括:基板;设置在基板上的栅极、栅极绝缘部、半导体部、源极和漏极,半导体部与栅极之间利用栅极绝缘部隔开,源极和漏极与半导体部连接,其中:栅极和半导体部在基板上的投影彼此不重叠。栅极、栅极绝缘部、半导体部、源极和漏极可同层布置。或者,栅极绝缘部的一部分设置在半导体部和源、漏极所在层与基板之间;且栅极直接设置在基板上。或者,半导体部和源、漏极同层直接布置在基板上;且栅极绝缘部的一部分设置在栅极所在层与基板之间。
申请公布号 CN104393053A 申请公布日期 2015.03.04
申请号 CN201410796010.0 申请日期 2014.12.19
申请人 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 周庆高;李鹏;冯忠;孟盼盼;刘祖宏;吴代吾;侯智
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤雄军
主权项 一种薄膜晶体管,包括:基板;设置在基板上的栅极、栅极绝缘部、半导体部、源极和漏极,半导体部与栅极之间利用栅极绝缘部隔开,源极和漏极与半导体部连接,其中:栅极和半导体部在基板上的投影彼此不重叠。
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