发明名称 |
薄膜晶体管及其制作方法,薄膜晶体管组件、阵列基板及显示装置 |
摘要 |
薄膜晶体管及其制作方法,薄膜晶体管组件、阵列基板及显示装置,一种薄膜晶体管,包括:基板;设置在基板上的栅极、栅极绝缘部、半导体部、源极和漏极,半导体部与栅极之间利用栅极绝缘部隔开,源极和漏极与半导体部连接,其中:栅极和半导体部在基板上的投影彼此不重叠。栅极、栅极绝缘部、半导体部、源极和漏极可同层布置。或者,栅极绝缘部的一部分设置在半导体部和源、漏极所在层与基板之间;且栅极直接设置在基板上。或者,半导体部和源、漏极同层直接布置在基板上;且栅极绝缘部的一部分设置在栅极所在层与基板之间。 |
申请公布号 |
CN104393053A |
申请公布日期 |
2015.03.04 |
申请号 |
CN201410796010.0 |
申请日期 |
2014.12.19 |
申请人 |
合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
周庆高;李鹏;冯忠;孟盼盼;刘祖宏;吴代吾;侯智 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤雄军 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,包括:基板;设置在基板上的栅极、栅极绝缘部、半导体部、源极和漏极,半导体部与栅极之间利用栅极绝缘部隔开,源极和漏极与半导体部连接,其中:栅极和半导体部在基板上的投影彼此不重叠。 |
地址 |
230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 |