一种大电流高压硅堆清洗装置

摘要

本实用新型涉及一种大电流高压硅堆清洗装置，包括机架、清洗池、机械臂及移动导轨；所述清洗池、机械臂及移动导轨均安装在机架的内部，且机械臂及移动导轨位于清洗池的上端，所述清洗池包括沿着移动导轨长轴方向依次分布的HF液清洗池、一级HF溢水清洗池、二级HF溢水清洗池、一级KOH清洗池、二级KOH清洗池、一级喷淋溢水清洗池、二级喷淋溢水清洗池、EDTA-2超声清洗池、一级超声清洗溢水清洗池、超声清洗池、二级超声清洗溢水清洗池、一级丙酮脱水池、二级丙酮脱水池，在二级KOH清洗池与一级喷淋溢水清洗池之间设置有喷淋嘴。本实用新型的优点在于：利用本装置对焊接后的大电流高压硅堆进行清沟，可以很好的去除附着在高压硅堆表面的杂质。

主权项

一种大电流高压硅堆清洗装置，其特征在于：包括机架、清洗池、机械臂及移动导轨；所述清洗池、机械臂及移动导轨均安装在机架的内部，且机械臂及移动导轨位于清洗池的上端，所述移动导轨沿着机架的长轴方向延伸，机械臂安装在移动导轨上，并且沿着移动导轨的延伸方向进行延伸；所述清洗池包括沿着移动导轨长轴方向依次分布的HF液清洗池、一级HF溢水清洗池、二级HF溢水清洗池、一级KOH清洗池、二级KOH清洗池、一级喷淋溢水清洗池、二级喷淋溢水清洗池、EDTA‑2超声清洗池、一级超声清洗溢水清洗池、超声清洗池、二级超声清洗溢水清洗池、一级丙酮脱水池、二级丙酮脱水池，在二级KOH清洗池与一级喷淋溢水清洗池之间设置有喷淋嘴。