制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置及方法

摘要

制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置，包括氨气尾气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一吸附器和尾气排放管；所述换热器分为壳通道和管通道，所述壳通道和管通道互不连通；所述氨气尾气输入管与换热器的壳通道进口端连接相通，所述换热器的壳通道出口端通过第一管道与氨分解炉进口端连接相通，所述氨分解炉的出口端通过第二管道与换热器管通道进口端连接相通，所述换热器管通道出口端通过第三管道与水冷器进口端连接相通；本发明装置可以消除或者大大降低尾气中氨的含量，使尾气达到直接排放的要求，从而降低了能源的消耗，节约了成本。

主权项

制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置，其特征在于：包括氨气尾气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一吸附器和尾气排放管；所述换热器分为壳通道和管通道，所述壳通道和管通道互不连通；所述氨气尾气输入管与换热器的壳通道进口端连接相通，所述换热器的壳通道出口端通过第一管道与氨分解炉进口端连接相通，所述氨分解炉的出口端通过第二管道与换热器管通道进口端连接相通，所述换热器管通道出口端通过第三管道与水冷器进口端连接相通；所述第一吸附器内包括第一吸附再生通道，所述第一吸附再生通道内设有分子筛；所述水冷器的出口端通过第四管道与第一吸附再生通道进口端连接相通；所述第一吸附再生通道出口端通过第五管道连接尾气排放管；所述第一吸附再生通道的出口端通过第六管道外接再生气管道；所述第一吸附再生通道进口端通过第七管道与氨气尾气输入管连接相通；所述第三管道上设有第一阀门；所述第四管道上设有第二阀门；所述第五管道上设有第三阀门，所述第六管道上设有第四阀门；所述第七管道上设有第五阀门；所述第一吸附器内还包括第一加热通道；所述第一吸附再生通道和第一加热通道互不连通；所述第三管道通过第八管道与第一加热通道进口端连接相通；所述第一加热通道出口端通过第九管道与水冷器的进口端连接相通；所述第九管道上设有第六阀门。