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发明名称 Verfahren zum Entspiegeln von Siliziumeinkristalloberflaechen
摘要
申请公布号 DE1621511(A1) 申请公布日期 1970.07.23
申请号 DE19671621511 申请日期 1967.04.01
申请人 SIEMENS AG 发明人 RENNER,DIPL.-CHEM.THEODOR
分类号 H01L21/00;H01L31/0236 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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