应用于纺织品彩色渐变磁控溅射卷绕镀覆的方法

摘要

一种应用于纺织品彩色渐变磁控溅射卷绕镀覆的方法，在纺织品上采用溅射镀覆金属膜的时尚装饰印染技术；它包括如下的步骤：准备靶材，采用JPL-650磁控溅射卷绕镀膜机进行镀覆，镀覆温度设置范围180～280℃，设置铜靶、钛靶、不锈钢靶和银靶进行多靶位或者单靶位的溅射镀覆；其中铜靶、钛靶和不锈钢靶的磁控镀覆电流为：0.1～9A,银靶的磁控镀覆电流为：0.1～2A；镀膜车速为0.1～15米/分钟，溅射间隔时间是0.1～10分钟，纺织品镀覆幅宽0.1～0.7米，采用同步离子源电流：0.03～0.5A。本发明属于无水无污染的印染工艺，其镀覆涂层厚度仅为15～300纳米之间，保证了纤维原有的刚柔性、服用性、可裁剪和缝纫性等，是可规模化应用于纺织品的印染技术。

主权项

一种应用于纺织品彩色渐变磁控溅射卷绕镀覆的方法，其特征在于它包括如下的步骤：首先，准备好金属靶材，靶材为铜靶、钛靶、不锈钢靶和银靶，将靶材及仓体用吸尘器清理干净，靶材的壁厚≥2～3mm、冷却水的流量为50～100m³/h，水压≥0.2MPa、半开回流水管的回流阀，然后开电和开气等动力源，采用JPL‑650磁控溅射卷绕镀膜机进行镀覆，镀覆温度设置范围180～280℃，采用DC/磁控溅射沉积模式镀覆，设置4个靶位，既铜靶、钛靶、不锈钢靶和银靶分别进行单靶位镀覆或者多靶位镀覆；所述的铜靶、钛靶和不锈钢靶的磁控镀覆电流为：0.1～9A,银靶的磁控镀覆电流为：0.1～2A；工作气体为氩气，或者氩气和氧气同时使用，所述的氩气流量为60～170Sccm，氧气流量为30～160Sccm；真空镀膜压强为8×10^‑4Pa～8×10^‑3Pa，镀膜工作压强为1×10^‑1Pa～2×10^‑1Pa；工作压力为：≥2×10^‑1Pa；镀膜车速为0.1～15米/分钟，纺织品镀覆幅宽0.1～0.7米，采用同步离子源电流：0.03～0.5A。