智能真空器件在线监测装置

摘要

本实用新型公开了一种智能真空器件在线监测装置，包括设于真空密封腔体上并且一端与真空密封腔体内部连通的连接管，以及与连接管另一端连通的波纹管，波纹管远离连接管的另一端上固定一光感应装置，另设有光发射装置和光接收装置，光发射装置发射光信号连续监测该光感应装置的位置并将其传输给光接收装置，光接收装置将接收的光信号通过光缆传输给处理器。该智能真空器件在线监测装置持续监控真空器件的真空度变化，在产品失效前及时发出警告，提醒工作人员采取措施，避免事故发生。不仅减免了对真空器件的脱机检验，降低了运营和维护成本；而且增加了产品的可靠性，减少了对人员和资产伤害的风险；并可实现远程监控，利用智能化发展。

主权项

一种智能真空器件在线监测装置，其特征在于：包括设于真空密封腔体(1)上并且一端与该真空密封腔体内部连通的连接管(2)，以及与该连接管另一端连通的波纹管(3)，该波纹管远离该连接管的另一端上固定一光感应装置(4)，另设有光发射装置(5)和光接收装置(6)，该光发射装置发射光信号连续监测该光感应装置的位置并将其传输给光接收装置，该光接收装置将接收的光信号通过光缆传输给中央处理器。