发明名称 封装基板的阻焊制作方法
摘要 本发明提供一种封装基板的阻焊制作方法,包括下述步骤:步骤一,对基板的表面和基板表面的线路图形进行粗化处理;步骤二,在基板表面压合阻焊干膜;步骤三,对压合阻焊干膜后的基板进行固化处理;步骤四,制作阻焊开窗的图形资料;步骤五,根据阻焊开窗图形资料的阻焊开窗尺寸、干膜厚度、阻焊干膜固化后的硬度进行调整激光器的加工参数,用激光器对阻焊开窗区域进行开窗处理;步骤六,对激光加工阻焊开窗区域的残留物、开窗后线路图形的露出部位进行清洁处理。本方法工艺相容性好,非常适合阻焊开窗尺寸小、开窗对位精度要求高的基板的加工。
申请公布号 CN104392934A 申请公布日期 2015.03.04
申请号 CN201410606048.7 申请日期 2014.10.31
申请人 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 发明人 宋阳
分类号 H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人 曹祖良
主权项 一种封装基板的阻焊制作方法,其特征在于,包括下述步骤:步骤一,对基板(1)的表面和基板(1)表面的线路图形(2)进行粗化处理;步骤二,在基板(1)表面压合阻焊干膜(3);步骤三,对压合阻焊干膜(3)后的基板(1)进行固化处理;步骤四,制作阻焊开窗(4)的图形资料;步骤五,根据阻焊开窗(4)图形资料的阻焊开窗尺寸、干膜厚度、阻焊干膜固化后的硬度进行调整激光器的加工参数,用激光器对阻焊开窗(4)区域进行开窗处理;步骤六,对激光加工阻焊开窗区域的残留物、开窗后线路图形(2)的露出部位进行清洁处理。
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