| 发明名称 | 处理盘状制品的设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用流体处理盘状制品的设备，所述设备包括用于在所述盘状制品上分配流体的分配工具以及用于支持所述盘状制品并绕垂直于所述盘状制品的轴A转动所述盘状制品的卡盘，所述卡盘包括基体和用于接触所述盘状制品的边缘的夹持件，所述基体包括倾斜的环状下表面，其中所述夹持件可相对所述轴A径向移动，其中所述夹持件与所述基体紧紧密封并朝下导向，并且其中当盘状制品被所述夹持件支持时，所述倾斜的环状下表面的最下端低于所述盘状制品。 | ||
| 申请公布号 | CN104392953A | 申请公布日期 | 2015.03.04 |
| 申请号 | CN201410571342.9 | 申请日期 | 2010.03.25 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 赖纳·奥博威格;弗朗茨·康姆尼格;托马斯·维恩斯伯格 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 李献忠 |
| 主权项 | 一种用流体处理盘状制品的设备，所述设备包括用于在所述盘状制品上分配流体的分配工具以及用于支持所述盘状制品并绕垂直于所述盘状制品的轴A转动所述盘状制品的卡盘，所述卡盘包括基体和用于接触所述盘状制品的边缘的夹持件，所述基体包括倾斜的环状下表面，其中所述夹持件可相对所述轴A径向移动，其中所述夹持件与所述基体紧紧密封并朝下导向，并且其中当盘状制品被所述夹持件支持时，所述倾斜的环状下表面的最下端低于所述盘状制品。 | ||
| 地址 | 奥地利菲拉赫 | ||