一种微电子机械系统的电容式气压传感器

摘要

本发明公开了一种微电子机械系统的电容式气压传感器，包括衬底、键合层、电容下极板、电容上极板、绝缘层、加热电阻条、上电极电引出、下电极电引出和两个加热电阻条电引出，衬底的底面设有真空腔，电容下极板固定连接在键合层的上表面，且电容下极板位于真空腔中，位于真空腔顶面正上方的衬底为电容上极板，绝缘层固定连接在衬底的上表面，加热电阻条固定连接在绝缘层的上表面，两个加热电阻条电引出固定连接在衬底的上表面，且每个加热电阻条电引出和加热电阻条的一端连接；上电极电引出和下电极电引出分别位于衬底上。该气压传感器解决了测量线性度与灵敏度相互制约的技术难点，可以适用于多种不同量程气压的测量与采集。

主权项

一种微电子机械系统的电容式气压传感器，其特征在于，该气压传感器包括衬底（8）、键合层（9）、电容下极板（2）、电容上极板（1）、绝缘层（3）、加热电阻条（4）、上电极电引出（5）、下电极电引出（6）和两个加热电阻条电引出（7）；衬底（8）固定连接在键合层（9）的上表面，衬底（8）的底面设有真空腔（10），电容下极板（2）固定连接在键合层（9）的上表面，且电容下极板（2）位于真空腔（10）中，电容上极板（1）为位于真空腔（10）顶面正上方的衬底（8），电容上极板（1）为可动感压薄膜，电容上极板（1）与电容下极板（2）相对，绝缘层（3）固定连接在衬底（8）的上表面，且绝缘层（3）覆盖了电容上极板（1），加热电阻条（4）固定连接在绝缘层（3）的上表面，且加热电阻条（4）位于电容上极板（1）的正上方，加热电阻条（4）的两个加热电阻条电引出（7）固定连接在衬底（8）的上表面，且每个加热电阻条电引出（7）和加热电阻条（4）的一端连接；上电极电引出（5）和下电极电引出（6）分别位于衬底（8）上，且上电极电引出（5）与电容上极板（1）连接，下电极电引出（6）与电容下极板（2）连接。