| 发明名称 | 曝光装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种曝光装置，其使用多个短尺寸灯作为光源，并能够以简单的结构进行照度不均较低的曝光。提供一种可轻松更换灯的曝光装置。曝光装置(100)具有：搬送部(2)，向搬送方向搬送被曝光体(11)；及光照射部(3)，在水平面内以规定间隔排列配置有具备长边方向的长度比被曝光体(11)短的棒状光源(32)及配置于光源(32)与被曝光体(11)之间的偏光器(34)的多个光照射单元(31)，光照射单元(31)配置成光源(32)及偏光器(34)相对于被曝光体(11)平行，且各偏光器(34)的偏振轴的方向相对于搬送方向设定为规定方向，各光源(32)配置成光源(32)的长边方向相对于搬送方向平行或成为倾斜方向。曝光装置(100)具有摆动机构(56b)，所述摆动机构使被曝光体(11)或光照射部(3)向相对于搬送方向交叉的方向摆动。 | ||
| 申请公布号 | CN104395831A | 申请公布日期 | 2015.03.04 |
| 申请号 | CN201380034890.1 | 申请日期 | 2013.03.29 |
| 申请人 | 株式会社V技术 | 发明人 | 桥本和重;新井敏成;富冢吉博 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;F21S2/00(2006.01)I;F21V19/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;F21Y103/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 吕琳;杨生平 |
| 主权项 | 一种对被曝光体照射偏振光的曝光装置，其特征在于，所述曝光装置具有：搬送部，向搬送方向搬送被曝光体；及光照射部，在水平面内以规定间隔排列配置有具备长边方向的长度比所述被曝光体短的棒状光源及配置于所述光源与所述被曝光体之间的偏光器的多个光照射单元，所述光照射单元中，所述光源及所述偏光器相对于所述被曝光体的被曝光面平行配置，且各偏光器的偏振轴的方向相对于所述搬送方向设定为规定方向，所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向平行或成为倾斜方向。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县横滨市 | ||