发明名称 |
一种气体传感器芯片 |
摘要 |
本发明公开了一种气体传感器芯片,由第一层至第四层共四层压电基片叠压而成,所述第一层压电基片上设置有参比气体通道;所述第一层压电基片和第二层压电基片之间设置有参比电极,所述参比气体通道与所述参比电极相连通;所述第二层压电基片和第三层压电基片之间设置有加热电极,所述第二层压电基片上涂覆有气体敏感膜,所述气体敏感膜为对相应的气体具有吸附和解吸附性能的聚合物膜;所述第四层压电基片上设置一层无序型金属膜,并在该无序型金属膜上设置点电极。本发明具有灵敏度高,响应快,选择性好,结构简单,寿命长等特点,并可针对任何气体进行设计,弥补了传统气体传感器性能不能兼顾的缺点。 |
申请公布号 |
CN104391009A |
申请公布日期 |
2015.03.04 |
申请号 |
CN201410644807.9 |
申请日期 |
2014.11.14 |
申请人 |
无锡信大气象传感网科技有限公司 |
发明人 |
禹胜林 |
分类号 |
G01N27/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
张惠忠 |
主权项 |
一种气体传感器芯片,其特征在于,由第一层至第四层共四层压电基片叠压而成,其中,所述第一层压电基片上设置有参比气体通道;所述第一层压电基片和第二层压电基片之间设置有参比电极,所述参比气体通道与所述参比电极相连通;所述第二层压电基片和第三层压电基片之间设置有加热电极,所述第二层压电基片上涂覆有气体敏感膜,所述气体敏感膜为对相应的气体具有吸附和解吸附性能的聚合物膜;所述第四层压电基片上设置一层无序型金属膜,并在该无序型金属膜上设置点电极。 |
地址 |
214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道97号创新研发楼二期南楼101室 |