微机电环形可变电容和三轴微机电陀螺仪

摘要

本实用新型涉及一种微机电的环形可变电容和三轴微机电陀螺仪，环形可变电容包括基板、环形上极板、四个下极板、以及支撑结构；以所述环形上极板的中心为原点；所述环形上极板通过支撑结构悬置于所述下极板的上方，所述支撑结构位于环形可变电容的环孔内并且与所述环形上极板的内沿连接，所述支撑结构在原点处通过第一锚点固定于基板上；所述四个下极板固定在基板上并且正对所述环形上极板，分为两组：第一组下极板沿x轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同，第二组下极板沿y轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同。本实用新型的环形可变电容结构简单紧凑，能够测量两个方向上的变形，具有良好的测量精度和灵敏度。

主权项

一种微机电的环形可变电容，其特征在于，包括：基板；位于所述基板上的环形上极板，其中心为原点；四个下极板；以及支撑结构；所述环形上极板通过支撑结构悬置于所述下极板的上方，所述支撑结构位于环形可变电容的环孔内并且与所述环形上极板的内沿连接，所述支撑结构在原点处通过第一锚点固定于基板上；所述四个下极板固定在基板上并且正对所述环形上极板，分为两组：第一组下极板沿x轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同，第二组下极板沿y轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同。