一种集成超声结构的电容式湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种集成超声结构的电容式湿度传感器及其制法，电容式湿度传感器包括超声换能器结构和若干湿度敏感电容结构，湿度敏感电容结构设置在超声换能器结构上方；超声换能器结构包括由下至上依次设置的衬底、压电材料层和中间金属层，湿度敏感电容结构包括由下至上依次设置的绝缘层、叉指电极、钝化层和湿敏材料层，绝缘层设置在中间金属层上；衬底的下表面通过腐蚀形成空腔，用于调节衬底厚度，进而调节超声换能器结构的谐振频率。在一定频率的电信号作用下，超声换能器释放出超声信号，使水分子获得能量，提高运动速率，更快地在湿敏材料中扩散或逸出，从而提高传感器的响应速度。

主权项

一种集成超声结构的电容式湿度传感器，其特征在于：包括超声换能器结构和若干湿度敏感电容结构，湿度敏感电容结构设置在超声换能器结构上方；所述超声换能器结构包括由下至上依次设置的衬底(1)、压电材料层(2)和中间金属层(3)，湿度敏感电容结构包括由下至上依次设置的绝缘层(4)、叉指电极(5)、钝化层(6)和湿敏材料层(7)，绝缘层(4)设置在中间金属层(3)上；所述衬底(1)的下表面通过腐蚀形成空腔，用于调节衬底厚度，进而调节超声换能器结构的谐振频率。