提供光子装置的热隔离的方法及设备

摘要

所描述的实施例包含具有光子装置的光子集成电路及系统，所述光子集成电路及系统包含用于所述光子装置的热隔离区域。还描述制作此类电路及系统的方法。

主权项

一种光子系统，其包括：温度敏感光子装置，其形成于裸片中；加热装置，其形成于所述裸片上，其中所述加热装置经配置以提供对所述温度敏感光子装置的温度控制；以及热隔离区域，其形成于所述裸片的区中，其中所述热隔离区域减少热量沿所述隔离区域的方向从所述加热装置到所述裸片中的耗散。