发明名称 锂微电池的制造方法
摘要 由多个层的堆叠来实施的锂微电池的制造方法,所述多个层依次包括:由第一材料制成的第一层(11),由第二材料制成的第二层(12),固体电解质层(13)和第一电极(14)。该方法还包括蚀刻形成由第一材料制成的第一图案(M1)以及由第二材料制成的第二图案(M2),该第二图案限定了该电解质层(13)的覆盖区域(13”)以及非覆盖区域(13’)。然后用第二图案(M2)作为蚀刻掩模来蚀刻非覆盖区域(13’)。在蚀刻该第一图案(M1)之后,在第二图案(M2)上形成了锂基层,该锂基层和该第二图案形成了第二锂基电极。
申请公布号 CN104393346A 申请公布日期 2015.03.04
申请号 CN201410539657.5 申请日期 2014.07.29
申请人 原子能和代替能源委员会 发明人 S·欧卡希;A·巴金
分类号 H01M10/058(2010.01)I 主分类号 H01M10/058(2010.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 邱军
主权项 一种锂微电池的制造方法,包括以下连续步骤:设置多个层(10)的堆叠,其依次包括:由第一材料制成的第一层(11);由构造为与锂原子结合的第二材料制成的第二层(12);固体电解质层(13);第一电极(14);蚀刻所述第一材料和所述第二材料以形成由所述第一材料制成的第一图案(M1)以及由所述第二材料制成的第二图案(M2),所述第二图案限定所述电解质层(13)的非覆盖区域(13’)以及覆盖区域(13”);用所述第二图案(M2)作为蚀刻掩模来蚀刻所述电解质层(13)的非覆盖区域(13’),并且蚀刻所述第一图案(M1);以局部方式在所述第二图案(M2)上形成锂基层(16),所述第二材料构造成使得锂原子扩散到所述第二图案(M2)中,所述锂基层(16)和所述第二图案(M2)形成锂基第二电极(17)。
地址 法国巴黎