发明名称 |
薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、显示装置 |
摘要 |
本发明涉及显示技术领域,公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、显示装置。所述阵列基板的非显示区域的金属导电层表面覆盖有抗氧化结构,用以防止所述金属导电层被氧化,从而当所述金属导电层暴露在环境中,而此时若形成只位于显示区域的薄膜图形,所述抗氧化结构可以保护所述金属导电层不被氧化,降低了所述金属导电层的传输电阻,改善了所述金属导电层与后续形成的导电层的电学接触特性,从而提高了阵列基板的质量。 |
申请公布号 |
CN104393001A |
申请公布日期 |
2015.03.04 |
申请号 |
CN201410578332.8 |
申请日期 |
2014.10.24 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
杨小飞;杨玉清;莫再隆;石天雷;朴承翊 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L23/532(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;黄灿 |
主权项 |
一种薄膜晶体管阵列基板,包括显示区域和位于显示区域外围的非显示区域,所述薄膜晶体管阵列基板包括位于所述非显示区域的金属导电层,其特征在于,所述薄膜晶体管阵列基板还包括:覆盖所述金属导电层表面的第一抗氧化结构,以保护所述金属导电层不被氧化。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |